2021年12月（yuè），靈感來自於一（yī）篇深圳中能高重（chóng）複（fù）頻率X射線自由（yóu）電子實驗站以及與中山大學合作的實（shí）驗站配套建設的測試項目，仔細閱讀（dú）《激光等（děng）離子體13.5nm極（jí）紫外光刻光源（yuán）進展》以（yǐ）及參考ASML，TRUMP,ZEISS相關信息，萌發了搭建一個小型，低成本的桌麵（miàn）型eUV光源，市場能夠看到的光源如下（xià）：

大（dà）型自由電子X激光源(FEL模式)

ASML係統EUV光源(LPP模式)

荷蘭ISTEQ公司台式EUV光源（LPP模式）

經過數個月準備（bèi），先期在（zài）廣州實驗（yàn）室自製測（cè）試（shì）儀器，驗證實（shí）驗信號，完（wán）善實驗中的激光防護和安全條件，最終在深（shēn）圳實驗室實現（xiàn）13.5nm的X激光在60w和200w泵浦條件下（xià）均實現信號（hào）輸出，令一起草17c 蜜桃公司在南中國大（dà）灣區首次（cì）獲得eUV激光源（yuán）的輸出。展（zhǎn）現了（le）大灣區科技應用的典型特點：低成本，高效率，快速轉化的綜合科技轉化能力。

（早幾年哈工大本部（bù）采用DPP模式獲得X激光輸出，上海（hǎi）光機所（suǒ）采用LPP模式獲得X激光（guāng）輸出）

科（kē）藝桌麵型eUV光源(LPP模式)

由於所（suǒ）有實驗是非真空環境條件下進行，激光損耗和散射比較大，理論估計本次實（shí）驗數據如下：

1.輸出波（bō）長13.5nm

2.輻射總（zǒng）能量：7mW@60W CO2 泵浦（Ti60）

                     12mW@200W CO2 泵浦 （F201）

3.測試裝備：26所特製5*5*5閃爍體+Thorlab光探測器2套（慢速高靈敏+高速低靈敏）

                  通用輻射（shè）計1套

@200W泵（bèng）浦時信號

@60W泵浦時信號

輻射計信號

基於初步實驗（yàn）過程（chéng），充分有效地鍛煉了我們團隊解決新問題的（de）應變能力，也印證了一起草17c 蜜桃公司多（duō）年在激光應用領域豐厚的技術沉澱和靈活高效的操作手段。

未來（lái），科（kē）藝（yì）公司也將繼續與中山大學及其相關夥（huǒ）伴共同推進此項技術在超分辨成像儀器方麵做一（yī）些（xiē）探索與貢獻。

伍慶華

2022-7-22於廣州